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第一百零七章 T/R模块搞定,又是锦鲤??

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虽然精度差、效率低,但基本的功能还是齐全的。

毕竟这玩意儿1974年就诞生了,后来经过1445所的不断优化升级,功能性还是完整的,怎么搞来搞去,还在用着手动对准吗?

这倒是涉及到他的知识盲区了。

听到他的问题,乔麦同样惊讶:

“啊?你不知道吗?也对,你们应该不会太关注这块。”

“但现在我们的对准系统确实很差,之前1445所实验了很多种方法,也没有解决自动对准的问题-——同样的,精度也不够。”

“1445所用的不是同轴+离轴双对准的方法?”

陈念大为惊讶,因为某种原因,这玩意儿在他的前一世铺天盖地地报道,连他这个门外汉都看过不少,搞的他还以为国内早就解决了对准系统的问题呢。

“不是啊,离轴对准的技术难度很高,设计原理也比较复杂,我们没有搞出来的”

“这玩意儿复杂??”

“你说它制造难度大我还可以接受,但是原理复杂.不就是光衍射的原理吗?”

话刚说完,陈念的脑子里突然灵光一闪,想起了关于以前他看过的报道的更多细节。

对啊!

最早的离轴对准技术,是ASML公司1999年才发明、2001年才算正式运用的技术,而自己所说的同轴+离轴的技术,是07年出现的。

现在国内确实还没有机会接触到最新的光刻机,自然也没有能力去复刻这种技术。

所以,乔麦不知道、或者说国内没人知道,似乎是正常的?

但自己还真知道啊!

哪怕不借助系统也能知道!

因为它的原理,真就没有乔麦所预计的那么复杂。

想到这里,陈念没等乔麦回答便继续说道:

“离轴对准技术的原理其实并不复杂,说到底,它也就是利用固定波长的光线来进行衍射照射,然后标记出参考光栅后,再利用摩尔东文来校准,当硅片跟光栅对齐之后,对准就基本完成了。”

“在这个过程中最难的不是标记,而是维持系统的稳定,具体的操作方法.”

听着陈念娓娓道来,乔麦的神情渐渐变得严肃。

她眉头紧皱,默默在脑子里推演陈念所说的技术操作,但还没等她推演完,陈念却突然停了下来。

“咋啦?怎么不继续了?”

乔麦疑惑地问道。


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