还是离子注入上面？”
“蚀刻工序出现问题的话金属栅极不会是这个形状，问题还是出现在了离子注入机上面。”杨杰说道：“我看了另外几颗芯片的的问题，发现芯片在在退火的时候温度太高了，这些铝线电路有烧化的情况。”
“铝的熔点太低了，看来还是你之前提出用铜来代替才是正确的办法。”徐工点头道。
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