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第九十一章 深硅刻蚀工艺

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  “哦?都有哪些传感器?”

孙厂长坐直了身体。

“到目前为止,思路已经成熟的,除了上次展示过的加速度传感器,简单一些的压力传感器,水平传感器,还有飞机上会用到的高度传感器,空速传感器......”

陈泉在黑板上,连续写下了一长串的名字。

既然明白了“他”做的东西,都是传感器,再去寻找那二十多个实验的目的,就容易了很多。虽然有些非常复杂的结构,陈泉还是摸不清头绪,但其中不少结构,每个实际可以有多种用途。

更不提,“他”提供了好几种通用结构。

所以,有些传感器,是原来“他”实验里包括的,但也有不少,是陈泉跟赵薇薇讨论后,自行扩展出来的。原理搞清楚了,可以很容易的举一反三。

“还有一个结构比较复杂的陀螺仪。这个可以作为我们第一期作品的收官之作。”

“陀螺仪?陀螺仪也能用MEMS技术加工出来吗?”

刘院长身边的中年人,站了起来。

陀螺仪在很多场合,都是核心传感器。

“您是?”

孙厂长回头询问。

“我是跟老刘一起来的,你们叫我王工就好了。”中年人没有透露姓名,其他人互相看了一眼,也就不问了。

“你还没有回答我的问题呢?小伙子!”

“哦。当然能了。由于陀螺仪的造型过于复杂,我还特意带来了它的模型。”

陈泉一摆手,曲燕秋就托着一套,由纸壳做的简陋样品,走上讲台。

-------

微电子实验室。

“你的手抖什么抖啊?这块晶圆片算是废了!”

张栋被气得浑身发抖。“你知道,这块晶圆片值多少钱吗?加上刚才消耗的各种药水,制剂,一百元!让你一抖,就这么没了!”

“没有全废吧。那一半不是还能用吗?”

自知犯了大错的成兴,试图分辨。

1989年的冰城,学生生活费,50元一个月能吃饱,100元,绝对能吃好。

“哦,天啊!我真是受够了。”

张栋的耐心彻底没了。“这是谁出的馊主意!让这些连课都没上过的新生,做半导体实验?”

“老张,有点耐心。”

在旁边工作台做实验的科研人员,边操作,边劝解。“你不能期望所有人都跟陈泉一样,


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