术中, 反应气体在高温下结合，形成的材料沉积在基板上。含有所需化学元素的生成物再和氢化物的表面反应，形成材料和化合物半导体的外延。
不同于传统的硅半导体, 这些半导体可以包含的组合III族和V族，II族和VI族，IV族或第IV族，V和VI族的元素。
MOCVD相关理论提出得很早，但真正走入实际验证，不过是近几年的事情。有一些厂家，自行改造定制MOCVD，但相关技术和产品, 远远没有成熟到可以商用的程度。
“你想在MEMS中, 弃用PVD，转用MOCVD设备？”王湛听到消息, 也是吃了一惊。“是又有什么新的发现吗？MEMS工艺要做大的修改吗？”
“嗯, 怎么说呢......”
陈泉陷入了沉思。
蓝光LED之所以在红光，绿光LED面世二十年之后, 还不能量产, 就是因为遇到难以克服的困难。
在蓝光LED领域, 人类的最早研究, 走的是GaN（氮化嫁）路线。但GaN的合成太困难。
另外，科研人员还发现, GaN除了具有很高的缺陷(位错)密度（按照传统半导体物理的认识，GaN 这么高的位错密度不可能发强光外）, 因此，大多数人都转向了其他技术方向。
目前市场上，有些低亮度的蓝光LED商品售卖，其走的是SiC（碳化硅）路线。但这条路线，从原理上，发光效率就不高。
因此大量的研究人员，又转向了ZnSe（硒化锌）材料。ZnSe材料，无论是理论，还是实际发光效率, 都取得了很大进展，但这条路线始终面对一个令人头疼的问题, 那就是产品寿命。
蓝光LED的几条技术路线，每条都有自己不同的困难，全都被卡住了。
而‘他’就是通过定制MOCVD的方式, 另辟蹊径，解决了GaN的制备问题。
......
“我和陈泉想定制两台MOCVD设备，做些预研。这部分研究工作, 不会影响到MEMS产线的建设工作。”了解内情的曲燕秋，干脆把话接了过去。
“不影响到MEMS建厂，那就没有问题了。”
王湛长出一口气。如果工艺不停的变来变去，他的工作也很难做。
“而且我希望，这个定制设备的制造工作，就交给奉天科仪。”
陈泉补充。
MOCVD只是解决了G
本章未完，请点击下一页继续阅读！