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第三千一百三十六章 运气不错的ASML

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《广场协议》和《美日半导体协议》的生效,日元在三年内升值百分之百,而芯片被强征100%的惩罚性关税,除此以外,老美还扶持台岛地区和南韩的公司和日本芯片厂商互相‘内卷’。”

“在大家的围攻下,日系企业在内存以及先进数字芯片制造方面节节败退,三星和台积电等趁机发展壮大,而我们华能和四叶草,也在关键时刻分到了一杯羹,拿下了数字芯片里需求量最大的存储类芯片的生产能力,为后续发展打下了坚实的基础。”

“但是光刻机毕竟需要的技术积累,尤其是光学器件、光刻显影技术、精密机械等方面的短板,无论是我们还是南韩,在八十年代到现在,还没有能够形成发展光刻机的能力。”

“但是欧洲却看到了契机。”

“脱胎于飞利浦的ASML抓住了关键需求,即电路从大规模集成电路(LSI)发展到超大规模集成电路(VLSI),晶体管尺寸将缩短到1微米以内,光刻机不再处理4英寸晶圆,而是转向6英寸。”

“而当时不管是美方还是日方的步进式光刻机,都达不到生产VLSI的标准。因为它们都是用导程螺丝杆来移动晶圆台,那么这意味着他们的图象细节,根本达不到1微米的定位精度。”

“光刻机的主要部件都有数千个, ASML先是引入当时最先进的物料管理系统,即施乐的XBMS系统。”

“这个系统与我们现在的工业流程管理系统类似,第一步解决了物料管理的问题,虽然花了数百万美元,但解决了供应效率,管理效率,打通整个产业链,用更高效率共同进步,确保新技术能快速有效地转化为可靠的产品。”

“解决供应商物料问题,第二步是建立无尘车间,确保机器组装过程中不受到外界因素的干扰。同时邀请各大Foundry客户参与合作,包括英特尔、台积电,三星等制造大厂和AMAT,LAM,TEL等设备大厂,最后只用了两年的时间,推出了第一款光刻机PAS 2500。可以将0.7微米的细节成像到晶圆上,并实现更紧密的微电子集成。”

“这个项目被欧洲人纳入了‘尤里卡计划’,这个计划是为了不被强劲发展的美日甩开距离,由欧洲共同体在高科技领域推出的政府资助并主导的计划。在这个计划框架内有个关于集成电路的子计划,叫做JESSI,JESSI里面最重要的一个项目,叫做MEGA,MEGA的目的,就是能够设计并制造1Mb的内存。”

“MEGA项目的核


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