光刻机，光源采用了光机所的193纳米ArF光源，物镜是从德国进口的。”
随着张潇的讲解，胡杨饶有兴致看着眼前的这台投影步进式光刻机。
这一刻，对于国内半导体行业的所有人来说，都具有里程碑式的意义。这也就意味着，国产高端光刻机实现了零的突破，虽然和国外光刻机的技术差距依然很大，但已经让人看到了希望的曙光。
“张董，你们下一步的打算是什么？”
胡杨平复了一下有些激动的心情，转头看向张潇。
“我们下一步的工作是，一方面将光刻机的研发继续向前推进，力争早日攻克90纳米光刻机并实现量产。另一方面，我们要开始研究浸没式光刻机的有关技术，希望五年之内能有所突破吧。”
目前，微电子设备最新研发的110纳米光刻机，尚未实现量产。张潇打算继续完善设计和制造，为下一步90纳米光刻机的量产打下坚实的基础。
至于浸没式光刻机的技术，那是后话了，要等到攻克了90纳米、65纳米光刻机以后，才会有实际意义，所以暂时还不用太着急。
“张董，没想到你们的进展这么快！说实话，我今天看到了这台110纳米光刻机的样机，让我对于国产高端光刻设备充满了信心。接下来公司如果在资金方面有困难，我绝对会大力支持的。”
技术的事情胡杨帮不上忙，但他能提供资金的帮助。如果微电子设备向高科创投基金递交申请，多了不敢说，100亿元以内的资金还是没问题的。
“哈哈，就等你这句话了。走，咱们再去别的地方转转。”
张潇见自己的目的达到了，心情大好之余也不废话，继续带着胡杨等人在公司考察。
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