1000倍规模。
只见贺老脚步匆匆，亲自将晶圆放在专门的检验仪器上。
在一旁的电子屏幕上，很快就浮现出，经过放大后，晶圆表面的情况。
一个合格的光刻机，制造出来的晶圆，表面的情况应该与他们光刻模板几乎一致。
同时至少也要保证90%以上的成功率！
“贺老，这一批的晶圆效果怎么样？”
在一旁的光刻操作人员询问道。
实验室中，所有人都在等待着贺老的结果。
贺志远并没有说话，用他手不断拖动着鼠标，观察着晶圆的情况。
毕竟是精确到纳米级别的光刻机！
这一项研究对于他们而言，显然也充满了十足的挑战！
很快，他就皱起眉毛来了。
在无数研究人员的注视下，贺老平静摇了摇头。
只见他转过身来，念出了几个坐标。
“你们注意一下142，64还有7，69这两个坐标。”
“这两个坐标的附近，几乎都有3-4纳米的误差！”
他从仪器中，取出了检验的晶圆平静的说道。
“这么高的误差，表示我们依旧无法生产10纳米以下的芯片！”
“距离目前世界上高精度芯片还有着相当的距离。”
围绕在一旁的研究人员，以及专家无不底下头来。
话虽然是这么说，可对比起他们之前的光刻机技术已经成长了许多了。
尽管成功率不算高，在此之前也已经制造出几片5纳米规格的芯片。
贺老平静的说道。
“另外，我在这里宣布一个好消息，以及一个坏消息。”
贺志远的声音，让众人再度抬起头来。
这种说话语气，可不像是贺老啊。
不过，光电研究团队，还是流露出好奇。
“贺老，您说！”
贺志远点了点头，平静的说道。
“目前，其实我们的曝光系统其实已经基本没有问题。“
“脉冲冷激光经过反射后，完全能够用于光刻。”
他的语气一顿，继续说道。
“先说坏消息。”
“现在的问题在于，光刻机的对准系统出现了问题。”
“在晶圆光刻后，始终会出现一定的偏差！”
贺志远突然流露出一丝微笑。
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