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第二百四十二章 光学镜片也突破了!

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“对啊!”罗刚宪笑得十分开心,“林教授,您可真是神了啊!我们用上了你那个数学模型之后,我们这离子抛光机简直就跟自动追踪定位一样,随随便便就能把镜片上那些红色跟蓝色区域给磨平了!”

“现在,我们已经抛光出了两块皮米级的光学镜片,一块表面精度在80pm-rms,另一块更是50pm-rms!”

听到这个消息,林晓顿时为之高兴起来,这样一来,他们华国也将拥有世界最顶级的抛光技术了!

这个光刻机中最关键的技术之一,在他们手上正式得到了突破!

林晓笑着道:“干的好!罗院士,咱们再多打磨几块出来,让外国人开开眼!”

“当然!”

罗刚宪回应一声,而后两人也不再多说,挂了电话。

林晓的心情也随之变好了起来。

光学镜片搞定,剩下的就是光源以及双工作台这两个问题了。

双工作台主要还是精度上的问题,他们当前的精密技术并不能保证其始终稳定,不过随着编码器的更新,双工作台也迟早能够实现突破。

至于光源的问题,因为林晓脑海中有着来自阿斯麦尔euv光刻机的成熟方案,所以对他来说这就更不是问题了,他所需要做的就是,对这个方案进行一下优化,避免在专利上产生冲突,这也是为什么他之前都没有直接照搬脑海中的那些资料,都是因为专利问题,他能通过申请专利避免国外侵犯权益,国外的专利,他们自然也得遵守。

所以经过他的优化后,就能通过规避掉对方的专利保护技术特征,实现绕过专利的作用,甚至从性能上还会比对方的技术更好一些。

“这样一来,似乎距离开始组装光刻机也要不了多久了?”

林晓的心中不由这么一想。

旁边的郑蓉儿见到他思考的样子,不由问道:“林晓哥,你在想什么啊?”

林晓回过神,笑道:“没想什么,走吧。”

而后,他便带着郑蓉儿高高兴兴地离开了学院。

……

川省,蓉城,光电所中。

罗刚宪挂了给林晓传达好消息的电话,随后便笑眯眯地又回到了他们的抛光室。

“第三块怎么样?”

“已经处理了47%,还需要一天的时间。”

“嗯。”罗刚宪点点头。

一块镜片的离子抛光过程,至少需要四十多个小时,将近两天的时间。


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