机若是能研发成功，便是全球第一台双工位光刻机。
这事想想都让人激动，但实现起来难度非常大！
光刻机的基础平台对准精度特别高，要求做到0.003-0.01微米，全球有几家企业能做到？
是以，不要小看这台体积不是很大的光刻基础平台系统，每一个备件都加工件，精度要求都非常高。
许振鸣把李尧喊来，就是让他参与改进主传动机构的改进工作，把空气轴承应用到光刻机的平台里。
“我们集团公司正在做这种高精尖的设备吗？”听完许振鸣的介绍，李尧彻底震惊了。他是听许振鸣说过要做光刻机，但不知道光刻机的精度要求会如此之高。
0.003-0.01微米的重复定位精度是什么概念？用肉眼根本看出来有偏差，只能通过激光定位系统来测量误差。
而这种精度的测距仪器，国内目光好像还没有，只有一鸣集团公司利用进口元件制作了几套在使用。即便长弓集团公司这样的重点单位也没有，只能从一鸣集团公司来订购。
所以说，李尧根本没听说过，也没见过这种高精度的测量仪器。他满腹狐疑的看着许振鸣，心中暗道：“我们集团公司能做出这种精度的设备么？”
许振鸣好像能看懂李尧的内心想法。
“李尧，你不用管其他的问题，只要把空气轴承给我提供过来就行。光刻机的基座平台对震动量要求特别高，我们已经采用液压油系统来减震，跟流体轴承的原理非常相似。”
许振鸣朝李尧一挥手，让他不要把注意力放在其他地方。
他告诉李尧不要小看这种平台机构。通过液压油和空气室的缓冲机构，已经把平台运动时的震动量减少到最低限度。
听完这番介绍，李尧倒是给许振鸣提出一个好注意：“许董，按照流体力学的原理来说，我建议这台设备的减震系统全部用纯净级的液压油。空气和液压混用不合适，热膨胀系统不同，会影响精度。”
这方面的技术他比较内行，在发明流体轴承的时候，对各种流体介质都做过试验。
听到这话，洪爱国顿时来了精神。
“李总，你能不能把你的流体介质试验数据库给我们一份？若那样，我们会少走许多弯路。”他微笑着看向李尧，虽然知道自己的要求有点过分，却还是提出这种无理的要求。
这些流体介质试验数据是李尧十几二十年的心血，流体轴承专利技术的支持数据。一般情
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