大国智能制造

第七百二十七章 问题到底出在哪里 【求订阅】

看了过来，说出自己的猜想。

“不可能！我们这台光刻机的接驳机构是用集团公司最先进的加工中心制造的，加工精度能保证。”万宁古一边说话，一边也跟着半蹲了下来。

这时候，梁宋松有点懵懵的。出于自信，他随口就否定了万宁古的判断，“怎么不可能？我们集团公司的机械制造水平要比米国佬差了两代左右，加工精度怎么能保障？依我看，就是这台光刻机主体系统的接驳机构有问题。”

“咱们不能随便乱说，要用实验数据来说话。”万宁古不认输，用手指摸了摸主机系统的接驳机构，感受一下接驳机构的加工面。

这组接驳机构的加工面非常光滑，曲线度、光滑度通过目测应该找不出故障。

所以，许振鸣根本没准备用手指去体验这种异型的接驳机构。他观察了一下，然后侧过脸来问万宁古：“老万，咱们可不可以用分开的模式来做光刻试验？”

万宁古闻言摇摇头，“光刻机是精密设备，两套系统一定要组装在一起工作才行。否则，光刻流片的精度无法保障。”

按照他的意思，土办法是解决不了目前的测试困境，这事有点难办了。