“希望你们不是吹牛。”吴刚闻言笑了笑,然后指挥另外两名技术人员,开始检查这批光刻机。
整个检查过程非常繁琐,阿斯麦的这台光刻机型号是PAS-2500,虽然远没有后世那么复杂,但也有大大小小11000多个零部件,分为三个部分,曝光台和测量台以及拥有两个显示器的操作台。
就凭吴刚三人完全检查每一个零部件是根本不现实的事情,毕竟时间有限,而且这台机器和东芝那边用的光刻机构造上也有所不同,所以只能检查一些零部件的是否存在划伤和破损的情况,等运到国内之后,关键在于阿斯麦工程师的安装和调试……
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