4所共同研发出来的第3代国产光刻机,已经赫然的放置在 c区左侧的位置,总共是一个批次4台机器,而这次研发出来的新一代储存量为32mb的nand闪存芯片,就是由这种光刻机制造出来的。
其实对于新一代国产光刻机的研发,段云一直都很关注,从技术上来说,这一批的国产光刻机大量借鉴了阿斯麦一微米制程的光刻机技术,其中在关键镜片的打磨方面,也是国家通过香港那边的爱国商人,从欧美购置的相关设备打磨完成的,整个过程比较曲折,但结果还是非常令人满意的。
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