这并不是什么机密,也没有什么好隐瞒的,当康硕问起这个问题,总工程师立即就回答了。
康硕一听,眼睛瞬间就亮了:不稳定,而不是做不到,这就希望很大:“你们在实验的过程中做到的最大精度是多少?”
“最大,”总工程师思索了一番,最终说道:“单次光刻最大精度达到过20nm。”
“20nm...”康硕沉思,随后嘀咕道:“这个精度完全可以了啊!”
“20nm是可以,但这个精度我们自己都不知道是怎么做出来的,同样的流程、同样的操作、同样的环境,我们甚至苛求同样的时间、同样的天气、同一拨人,但这个结果就是复现不出来。”
总工程师一脸苦笑:“我们实验的多数精度区间实在65~90nm,保证良率的情况下65nm已经是极限了,我们不可能把这样一个东西交付给用户,然后声称精度达到了28nm吧?”
“曾经做到过,那就是有这个能力,只需要找到是怎么做到的,然后复制就行了。”康硕说道:“兴许,我有办法。”
如果是硬件问题,康硕绝对没有任何办法,但现在看,硬件水平肯定是达标的,总工程师也说了,零部件能满足28nm的前道制造需求,而且他们也真的曾经做到过。
那就是系统问题了,这问题回到了康硕自己以前的老本行——系统调试,而这,康硕是专业的。
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