昨天李国成为了避免麻烦,把光刻机的外壳进行了更换,用拉丝工艺处理的表面,低调而奢华。
拿出一块准备好的掩膜版,递给了赵爸,“这个就是收音机专用芯片的内部结构图”,等大家轮流看完,李国成接着说:“大家请看这里”。
说着,李国成把光刻机的外壳拿掉,里面的结构一览无余。
“这个就是大家手里拿的掩模板,上面平行紫光透过掩模板,通过这里的精密透镜组,缩小图形,然后照射到光刻胶上,通过化学反应,被照射部分曝光变硬,这个过程和照相机的原理类似”。
李国成拿起一块完成曝光的晶圆,来到刻蚀机旁边。
“这个是刻蚀设备,首先要把曝光过的晶圆放入这个液体里浸泡一定的时间,洗去不需要的光刻胶。然后放入中间这个液体里,进行刻蚀,得到想要的芯片结构”。
李国成一一演示,中间过程把样品放到大家眼前,递上放大镜,让大家观察。看到上面密密麻麻精细的刻痕,大家内心被深深的震撼。
接下来的热扩撒过程只是介绍了原理,然后把已经完成扩撒的晶圆拿到后期车间,切片、封装、测试,所有流程进行了详细地介绍。
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(本章完)
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