李国成突然意识到什么，“袁教授，你们搞出来了”。
袁教授重重的点了一下头，“在您的指导下，193nm ArF准分子激光器我们终于研发出来了”。
李国成突然跳了起来，倒是把袁教授吓了一跳。
“好，太好”，李国成在办公室里无意识地转着圈，双眼有点湿润。
“多年的坚持，终于看到了曙光，有了DUV，EUV还会远吗？”
接下来只要突破反射镜片，实现100纳米工艺将不是梦。随着经验的丰富，50纳米、28纳米的工艺将会被接连突破。
恰巧，周晓娟团队在3个月前就突破了乳胶遮光膜的试制，基板李国成直接选择石英玻璃。
它的化学稳定性高和热膨胀率，在使用环境上相对于其他材料对工艺生产环境的要求较低。
现在只剩下反光镜片，一旦研发成功，具备现代意义的DUV光刻机就可以试制成功。
对于现在实验室的实力，研发成功只是时间的问题。
李国成把周晓娟、张芷静、闫解放和易师傅叫到会议室。
确定了实验室接下来的主要工作方向转向DUV光刻机的研发。
“小李，那9轴机床零部件的加工怎么办？”
李国成也是一愣，“啊！那这样，易师傅你先带领团队完成当前手头上的任务，等完成后，再加入”。
“那行，我尽量盯紧点”。
虽然缺少易师傅的加入，但是他可以先把任务交给小一和小二。
所以整个任务布置会，他表现的非常兴奋，恨不得大家都马上开工。
他的表现引起了与会人员极大的疑惑。
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(本章完)
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