通的紫外光,在普通环境下便能完成光刻,意味着国产光刻机使用低成本光源,实现了更高分辨力的光刻。
制造成本只有ASML公司光刻机的几分之一,乃至十几分之一。
技术原理层面的突破,更是相当于别人在开山修路的时候,你打通了一条隧道。
不过超分辨纳米光刻机虽好,却也存在一个较为严重的缺陷。
那就是曝光时间过长。
尤其实在芯片领域,EUV光刻机曝光15秒便能完成的任务,超分辨光刻机需要十多天。
更加形象的比喻是,传统光刻机是直接拍出一张照片,超分辨光刻则是拿一支笔,慢慢画出一张图片……效率差别巨大。
……
商海微电子公司。
来到这家公司调研的陈今,看到面前的这台22纳米超分辨光刻机,听了该公司的老总张昱明的介绍后。
“你说这么好的设备,不能用于芯片的制造,为什么不能?”
陈今皱着眉头,这太可惜了吧。
“不是不能,而是太慢!我们想了各种办法提高它的曝光效率,但曝光一张影刻,依然需要五天的时间,效率是传统光刻几万分之一,这完全抵消了我们的成本优势,只适合给一些较小规模的市场,比如军用芯片、光学器件、高精密光栅、光子晶体阵列等等,这些领域我们的超分辨光刻机卖了好几十台。”
“但大规模的芯片制造,只能老老实实地发展传统光刻。”
张昱明摇着头道。
目前商微电子的10nm光刻机,走的就是193nm光源浸没式光刻路线,但制造成本太高,没有市场竞争力,又面临着ASML的专利壁垒,故而没有推向市场。
EUV光刻方面,商微电子与国内很多机构合作,取得了一定的突破,但也面临专利方面的问题。
很多高精尖设备,不是说Z国人打破不了垄断,而是专利壁垒挡在了那里。
“你们有没有办法加快它的曝光效率,赶上传统光刻机呢?”
陈今问道,他觉得超分辨光刻这条路线,真的可以继续走下去,应用于大规模芯片制造。
“办法有!但实现太难了,以现有的技术,几乎不可能实现。”
“你先说说你的办法。”
“增加‘笔’的数量,就是把光刻镜头做小!在手指头大小的光刻镜头内,集成1万个微型镜头,让这些微型镜头同时参与工作,完成集成电路
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