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第二百九十九章 研发中的第四代光刻机

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防针了,他说这话的意思是,我能帮你把超紫外混合激光搞出来,但激光之外的事情,我也是无能为力,还要看星辰科技自己的力量。

罗佳只是点头笑了笑,并没有说什么。

两个人很快来到这台机器跟前,罗佳淡淡的说,“这就是我们的初代机,它共分为十三大结构,分别是激光发生器,光束矫正器,能量控制器,光束形状调整器,遮光器,能量探测器,掩膜版,掩膜台,物镜,测量台,曝光台,封闭框架,磁悬浮减震。”

罗佳指着机器,介绍这台复杂的组成。

虽然听名字似乎很简单,但就算用脚后跟想也能明白,作为半导体行业的王冠,又怎么可能简单呢。

就拿这台光刻机的物镜来说,如果你以为那是一个类似单反镜头东西,那就完全错了。

ASML公司EUV型光刻机采用的物镜,高达一米八四,宽度接近七十公分,是德国光学巨头卡尔.蔡司集团,与激光巨头亚琛集团联合制造的。

物镜多少钱?

抱歉,无论罗佳掏多少钱,都买不到这套物镜。

从成本的角度估算,这套物镜的成本应该在一千万美元左右,其复杂程度和精确程度,足以被写入光学发展史。

罗佳给温成岭看的,就是这么个东西,它巨大而精密,充满科幻电影般的未来感。

而且ASML的EUV是第三代,罗佳这个是第四代,超紫外光,技术复杂程度还要更高。

“你们竟然已经做到了这种程度!?”温成岭激动的瞪大眼睛,发出不可思议的声音。

刚才距离远,又隔着玻璃,所以没太看清楚,还以为是个样子货。

如今走进无尘实验室里,温成岭才恍然发觉,这台四代光刻机的完成度,已经如此之高!



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