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195 0.001毫米级手工加工精度

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一边错,一边测量。

“把跟这个装配的07号、13号零件拆下来。”老头一边锉,一边对着旁边装配的技术人员说道。

在今天早上他们最后一次装配的时候,把所有需要更换的零部件给编了号。

零件很快被拆卸下来,老头把几个孔一边测量一边修后,开始配合上面原来的零件进行更小心的修理。

仅仅几个孔,就用了一个多小时的时间。

随后,老头把零件装配上,取下,再装配上,取下。

每一次重复的过程,都会用不同锉刀甚至砂纸修理已经变得光滑的孔。

一直到最后不再修理孔的时候,才开始用大一些的平锉修理外形。

一边锉,一边测量,随后开始用粗砂纸磨外形。

铣刀加工零件留下的刀痕,在锉刀的作用下,开始消失,随后不同的砂纸让表面更加光滑。

小零件是光刻机对准系统中一个非常关键的零件。

这个小零件是带动显微镜调焦使用的关键。

光刻机调焦机构移动轴带动着不停地进行细微移动,表面粗糙度达不到要求,会造成摩擦,从而形成位移误差,这个误差将会是好几个0.01毫米。

而这玩意儿的制造工艺精度是1微米,也就是0.001毫米!

正在修理的这台光刻机,这东西不仅变形了,同时也磨损了。

显微镜什么的都是好的。

只要解决了对焦系统的精度问题,确保工作台的移动精度能达到,再把其他的一些非核心关键的电子部件更换,就能使用。

光刻机最重要的就是动作台部分,相当于芯片电路母版的样片在生产过程中装在光刻机上面,只要不出问题,就不会更换,不断地通过物理方法或化学方法把样片上的电路图复制到硅基片上。

其实就相当于胶卷底片,可以不断地洗出同样的照片。

掩膜版能否在规定的位置,决定了芯片所有电路的位置。

否则,这方面的制造要求也不会如此高。

粱老在工作的时候,跟之前老人形象完全不同,手中的动作稳,准,快。

这都是需要耗费时间的,一个拇指大的零件,从最开始表面还能看到铣刀加工痕迹或者比较粗的砂纸打磨痕迹都开始消失,再到最后,粱老把这零件放到玻璃板上面,开始用粗麻布进行抛光,在抛光的时候,依然不停地测量。

逐渐地,原本还是


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