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483 其实,你的研究方向是对的

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克服。”

听不懂......

“刘所长怎么想的?”顾北皱眉问道。

“他开始笑我有些异想天开,我据理力争最后他同意我带几个人独自试验,不过到最后还是他说的对,我们又集中力量开始攻关干式微影,白白浪费了几个月时间。”

张文华说道最后有些不好意思。

“其实,你的研究方向是对的。”

顾北突然说出这句话,让张文华吃了一惊:“你说我的方向是正确?”

顾北点点头:“我问你,从理论上讲用液体做介质到底有没可能攻克这个难题?”

“理论上说是可行,但是实际遇到的问题很多,除了我刚才说的,还有折射指数大于1.65的流体满足粘度、吸收和流体循环要求…….”张文华也不管顾北听的懂听不懂,又开始解释起来。

“好了,不说这个……”顾北打断他的话,“明天我就找你刘所长,研发方向放到液体做介质浸润式微影技术!”

顾北的语气不容置疑。

虽然他听不懂张文华说的那些艰涩专业术语,但是他记得很清楚,网上就说ASML公司就靠这个所谓的“浸润式”技术,打败了尼康IBM等公司所谓干式微影技术,成了光刻机的龙头。

这实际上是一种研发路线选择,一旦错了,满盘皆输!尼康IBM就是活生生的例子!



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