“您应该也知道,光刻机顾名思义是利用激光在硅晶片上进行激光作业,形成复杂集成电路。”
“在这个过程之中,首先要在晶圆表面附着一层光刻胶的保护膜,随后利用紫外线激光,去除掉晶圆表面的保护膜。”
“再用腐蚀剂,对失去保护膜的部位进行腐蚀之后,就能够在晶圆上形成集成电路。”
“这里边,想要保证集成电路的准确,确保芯片的成品率,最为关键的就是光源。”
张星扬说到这里的时候,稍微停顿了一下继续道:
“其实国内目前在紫外激光方面并不弱,只不过在光刻机光源应用上还存在一定的问题。”
“我们目前主要还是停留在对于深紫外光的研究之上,但是下一代光刻技术的关键肯定是在极紫外光上。”
“目前国际上,极紫外光的光源发展,也是很迅速。”
“据我所知,ASML的LPP EUV已经要完成开发了。”
“他们是通过四十千瓦的红外激光器激发Sn液滴产生的。
这项技术很难说是有多先进,只不过肯定是比较符合他们的利益的。”
ASML和国内毕竟不是一个情况,他们是商业公司,生产出来的光刻机自然也是作为商品存在的。
和国内作为生产工具存在的光刻设备,还是有那么一点点区别。
商品,就必须考虑到运输的问题。
这就导致ASML他们不得不在设备体型上,做出一定的限制。
而现在,张星扬要给国内带来一条在现在看来是一条歪路的办法。
“孙老,您也应该知道,我们的目的是什么?”
“我们是为了发展紫外激光,还是为了有我们国产的光刻设备?”
张星扬讲了一大堆之后,又将一个问题抛给了孙老。
孙洪涛这个时候也还没有反应过来,还没有跟上张星扬的思路:
“这两者,有什么区别吗?”
不过在说着说着,孙洪涛也反应了过来:
“难道说?”
“你有办法绕过紫外激光?”
张星扬轻轻叹了一口气:
“这个办法实际上是有点取巧的。”
“您也知道,我们发展激光的目的,是以激光为刀,在晶圆上进行雕琢。”
“所以我们要的,并不是特定的激光,而是一把锋利的刀!”
“实际上,在
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