人生重启二十年

第3134章 全球SPIE微光刻会议

相对便宜的。一旦确定了流体，就必须解决许多问题；即，抗蚀剂的脱气，曝光或扫描过程中流体折射率的不均匀、流体的摩擦导致的扫描速度减慢，以及潮湿环境的混乱。——”

这时候赵长安手里面拿的一份文件，就是在这次全球SPIE微光刻会议上，各个专家级权威的发言。

其中他看了林博士的发言的时间最长，对于别的专家的发言，基本上都是快速的浏览。

对于赵长安前一世这个会议上林博士的发言，赵长安没有看到过，因为那个时候他怎么可能对这种枯燥的技术发言感兴趣。

而现在他则是翻来覆去的看这篇很短的发言，看了半天，感觉他好像啥都没有说。

其实在这个会议上，真正最具备含金量的在赵长安看来，是MIT研发报告里面提到的那句‘在193nm浸没的情况下157nm问题常见的普遍困难都不存在，几乎等同于现今处于干式介质中193nm步进式光刻机效果。’

这句话里面暗含着一个重大的，如同窗户纸一样，却直到03年7月才开始被Sematech（m国半导体制造技术联盟，成员包括m国防部、能源部、国家实验室、国家科学委员会、国家标准及技术院、MIT，得州大学，ASML，——）捅破。

就是既然193nm在浸没式液体之中既然依然是那么的稳定，为什么一定要使用难题很多的157nm作为浸没式光源，为什么就不能依然用193nm。

而现在所有人都这么认为，既然193nm在干式介质就已经很稳定，为什么要脱了裤子放屁，要把它放在液态流体之中多此一举？

这里面唯一所欠缺的一个几乎这些技术人员都知道的常识要素，没有被他们考虑进去，就是液体和干式介质之间，不同的折射率。

实际上在赵长安的前一世，林博士在自传中说到，他在不久前的SPIE微光刻，发表了很具有重量级的发言。

“我在研讨会发表用水配合193纳米，能比干式的157纳米多增进一世代，而且比后者容易开发。结果全场轰动。我演讲后，所有交谈的时间大家都在讨论这个题目。”

实际上，似乎真的没有这个事实，因为他的发言人家留有录音，这个可真是做不得假。