百济王子扶余忠胜、扶余忠志率领自己的兵众及倭军、耽罗国使投降，只有主帅迟受信占据的任存城还未被攻克。
当初，苏定方灭亡百济，主将沙吒相如、黑齿常之纠集溃卒，凭借险要地势接应鬼室福信。白江口之战后，二人投降唐军。
刘仁轨展示诚意，让他们攻取任存城来证明自己的真诚，又为其补充军械、粮草。孙仁师认为此举可能会招致他们反叛。
刘仁轨说：“我观察沙吒相如、黑齿常之真诚并有谋略，乘机立功，还怀疑什么？”
沙吒相如等最终攻克了任存城，迟受信独自逃往高句丽，百济的残余势力被全部消灭。孙仁师等人班师回朝，朝廷令刘仁轨率军留镇百济。
百济两次遭受战乱，境内受到严重的破坏，刘仁轨命令对死者进行掩埋祭奠。
他重新登记户籍，设置官署属吏，开辟道路，建设村庄，修复堤坝塘堰，救济贫困人家，鼓励农业生产，替他们建立土地神庙，百济的民众都安居下来。
守军于是垦种土地，筹划平定高句丽。
刘仁愿回到京城，高宗慰问他说。
“你本是武将，但这次写来的奏表文书，都合乎礼仪，这是怎么做到的？”
刘仁愿回答说：“都是刘仁轨的手笔，不是我能写出来的。”
高宗赞赏刘仁轨，破格提拔他六级官阶，正式任命他为带方州刺史，并在长安奖赏一处住宅，加赐其家属。高宗特派使者送去盖有御印的文书，对刘仁轨进行表彰。
在太宗贞观、高宗永徽年间，朝廷都特派使者慰问祭奠阵亡的将士，有的还把赠授的官职爵位转授给他的后辈担任。
显庆以后，奖赏出征将士的事几乎不复存在。到平百济、围平壤时，有功的人完全没有甄别任用。州县征募兵役，人们不愿当兵出征，身体健壮、家境富裕的人，用财物到官府打通关节，都可以逃避征调。
招募到的人都愚弱贫困，缺乏斗志。刘仁轨全面论述了不计功行赏的弊病，要求朝廷对出征将士给予慰劳奖赏，以便鼓舞士气。
刘仁轨还呈递奏表，建议任用扶余隆，令其安抚百济民众。高宗对他的建议表示同意，并授扶余隆为熊津都督。
当时，刘仁愿任卑列道总管，高宗令他接替刘仁轨驻守百济，然后二人再一起回国。
刘仁轨说：“皇上巡视各地，还要筹划平定高丽。眼下正值农忙季节，如果官兵全被接替，新来的人不熟悉情况，万一这里发生变
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